?鈦強制循環泵零件的電源和性能特征

人氣：23 發表時間：2026-04-23 【小中大】

鈦強制循環泵的電源是高內阻電源，空載輸出電壓在3-7kv之間，但負載電流大時輸出電壓下降到400V V左右，一般循環泵采用5KV倍壓整流電源。通過流經鈦強制循環泵陽極和陰極的放電電流可以反映出被抽空間的真空度。循環泵在額定電壓和磁場強度下的放電電流Iion(mA)與壓強P(Torr)有一定的曲線關系。因此，循環泵的電源可以反映壓力。

泵電源面板顯示:輸出DC高壓、鈦強制循環泵放電電流等。

(1)極限壓力:10-8 Pa

(2)泵送速度:

鈦強制循環泵的抽速與陽極電壓和磁場強度有關。磁場強時，抽氣速度也高，較好的抽氣速度對應的陽極電壓也高。常用鈦強制循環泵的抽速有25升/秒和5升/秒。對于需要大抽速的場合，抽速可達50 L/s、100 L/s等。通過并聯連接基本結構單元。

(3)啟動壓力:10-2 Pa

(4)壽命

a、陰極耗盡壽命

陰極鈦板因濺射穿透而不能使用。

b、陽極剝離壽命

當沉積在陽極上的鈦膜厚度過大時，就會剝落，導致泵內壓力發生不規則而強烈的變化，使泵無法使用。

c、陽極飽和壽命

大量的氦氣和氫氣被吸附溶解在陽極上，達到飽和時泵就不能再吸附氣體了。